- ห้องประมวลผลแก้ว: ∮100mm; สูง 130 มม.
- ขนาดของเวทีตัวอย่าง: ∮40มม. (ถือถ้วยตัวอย่าง 6 ชิ้น)
- ขนาดเป้าหมายทอง:
∮58mm * 0.12mm (ความหนา)
- ตรวจจับสูญญากาศ: ประกัน Pirani
- การป้องกันสูญญากาศ: 20 pa พร้อมวาล์วเงินเฟ้อแบบไมโครสโคป
- ก๊าซกลาง: อาร์กอนหรืออากาศด้วยอาร์กอนพิเศษอากาศเข้าและควบคุมก๊าซในกล้องจุลทรรศน์
A50.7011 Ion Sputter Coater |
ห้องสูญญากาศ | Dia 100mm * H130mm |
ด่านตัวอย่าง | Dia 40mm (ถือถ้วยใส่ตัวอย่าง 6 อัน) |
เป้าหมายสปัตเตอร์ทองคำ | Dia 58mm * 0.12mm (ความหนา) |
เกจวัดสูญญากาศ | Pirani Gage |
ปั๊มสุญญากาศ | ใบพัดหมุนได้: 2L / s |
จุดป้องกันสูญญากาศ | 20Pa พร้อมวาล์วเติมลมไมโครสโคป |
ก๊าซทำงาน | อาร์กอนหรืออากาศที่มีก๊าซอาร์กอนพิเศษที่อากาศเข้าและควบคุมก๊าซในกล้องจุลทรรศน์ |
สปัตเตอร์แรงดันไฟฟ้า | 1.6KV |
น้ำหนักรวม | 48 กิโลกรัม |
การปฏิบัติตาม | CE |